parker膜片減壓閥產(chǎn)品描述：

派克Veriflo產(chǎn)品組SMSQ2Micro (0.06 Cv)和SMSQ2Micro130E (0.15 Cv)是市場上*的微型超高純減壓閥。產(chǎn)品提供精密且穩(wěn)定的壓力控制，提高了MFC（質(zhì)量流量控制器）的性能，這對半導體生產(chǎn)的重復性和產(chǎn)量至關重要。產(chǎn)品同樣表現(xiàn)出優(yōu)異的泄露完整性和底粒子生成，以減少對半導體應用中至關重要的的過程污染.

減壓閥適用于惰性氣體和腐蝕性氣體，為階躍函數(shù)流量需求變化提高出色響應。產(chǎn)品采用自動定心束縛膜片設計，提供穩(wěn)定閥座密封和壓力調(diào)節(jié)。沒有閥芯彈簧和閥座滯留螺紋，這樣大限度減少粒子生成和截留，進一步提高工藝清潔度和吹掃性能.

SMSQ2Micro接液部件由特殊金屬制備，提供優(yōu)異的耐腐蝕性和泄漏完整性。閥體材料為內(nèi)部電解拋光 Vericlean? 316L不銹鋼。Vericlean? 是派克公司的UHP超高純級不銹鋼。膜片和閥芯材料為哈氏合金 C-22?。這些材料與SMSQ2Micro系列設計特點相結合，使SMSQ2Micro系列具有強耐腐蝕性和更高循環(huán)壽命，入口壓力高達250.

SMSQ2Micro和SMSQ2Micro130E均采用與量子閥相同間距接口，符合SEMI模塊化接口規(guī)范.

SMSQ2Micro系列減壓閥的內(nèi)部（閥座）密封和金屬外部密封通過氦泄漏測試，使用質(zhì)譜儀以獲得在苛刻超高純應用中的性能和應用市場:

半導體

分析試驗室

航空航天

工業(yè)

SMSQ2MICRO30102膜片減壓閥特點和優(yōu)勢:

? 有C 和 W密封貼面安裝1-1/8

parker膜片減壓閥性能特點

閥體材料潔凈316L不銹鋼

壓縮構件材料潔凈316L不銹鋼

隔膜材料哈氏合金 C-22

閥芯材料哈氏合金 C-22

閥座材料PCTFE

帽材料銅鍍鎳

螺母材料不銹鋼

旋鈕材料ABS (藍) (SMSQ2Micro)ABS (黑) (SMSQ2Micro130E)

爆破壓力750 psig (52 barg)

可承受壓力375 psig (26 barg)

流速Cv: 0.06 (SMSQ2Micro), 0.15 (SMSQ2Micro130E)

內(nèi)部泄漏率< 5 x 10-8 cc/sec He

外部泄漏率< 2 x 10-10 cc/sec He

體積0.08 cm3

重量0.9 lb0.42 kg

表面處理5微英寸粗糙度

大入口額定壓力250 psig / 17 barg

出口額定壓力-10 psig - 60 psig (260 torr - 4.1 barg)

高運行溫度66 °C150 °F

低運行溫度-40 °C-40 °F

SMSQ2MICRO30102膜片減壓閥工作原理:

減壓閥是氣動調(diào)節(jié)閥的一個配件，主要作用是將氣源的壓力減

壓并穩(wěn)定到一個定值，以便于調(diào)節(jié)閥能夠獲得穩(wěn)定的氣源動力用于調(diào)節(jié)控制。 按結構形式可分為薄膜式、彈簧薄膜式、活塞式、杠桿式和波紋管式；按閥座數(shù)目可分為單座式和雙座式；按閥瓣的位置不同可分為正作用式和反作用式。

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